化學吸附儀

真空控制系統(tǒng)

2022-01-23 11:00:08

用途：用于實驗腔體的真空度自動控制，實現(xiàn)測試過程中真空的程序定向控制。

控制范圍：真空泵極限真空-100000pa

控制精度：<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率：5*10-9Pa.m3/S.He以下

控制速度：5min以內(nèi)完成

程序步數(shù)：30步，隨意設(shè)置。

真空計：英?？嫡婵沼?0-50torr  0-1000

上一個：沒有了

下一個：沒有了

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